Магнетронные распылительные системы

             Министерство   образования   Российской   Федерации
                   Томский   Политехнический   Университет



                                                  кафедра  английского языка
                                                     и технического перевода


                     Магнетронные распылительные системы



               выполнил:       В.В. Жуков,
                                                 аспирант,  НИИ ЯФ, Лаб. 23.



                                      Научный руководитель: В.П. Кривобоков,
                                      профессор, заведующий Лаб. 23, НИИ ЯФ.



                               Томск 2001 год.

      1 Введение


       Целью  настоящей  работы  является  обзор  конструктивных   элементов
магнетронных распылительных систем (МРС), а также рассмотрение  принципа  их
действия и физических параметров.
      Дело в том, что еще сравнительно недавно  основным  методом  нанесения
тонкопленочных покрытий были испарение  и  конденсация  вещества  в  высоком
вакууме. Методы ионного распыления материалов в следствие  низких  скоростей
осаждения и высоких радиационных  воздействий  на  обрабатываемые  структуры
использовались ограниченно. Появившиеся  сравнительно  недавно  магнетронные
распылительные системы,  позволяющие  наносить  как  тонкопленочные,  так  и
пленочные покрытия в сотни микрон, позволили существенно  расширить  область
применения ионного распыления материалов.
      В последние годы  в  нашей  стране  и  за  рубежом  проведены  научные
исследования  и  конструкторско-технологические   разработки   по   созданию
широкого класса МРС, а также установок и линий  (в  том  числе  непрерывного
действия). Подобного рода установки  нашли  применение  во  многих  областях
науки  и  техники.  А  целесообразность  и  эффективность  их  использования
доказана значительно возросшим интересом к разработке и внедрению все  новых
более совершенных систем.
      В настоящей работе на  основе  литературных  источников  сделан  обзор
конструкций магнетронных распылительных систем, их составных частей,  кратко
рассмотрены основные параметры и физические принципы работы.

                                 Содержание



1                                                                   Введение


2      Принцип      действия       и       рабочие       параметры       МРС

3        Конструкции        магнетронных        распылительных        систем


4                                                                 Заключение


5                                                                 Conclusion

Список                       использованных                       источников


Приложение А - Рабочие и энергетические характеристики


                                             распылительных           систем

1 2 3